經(jīng)歷產(chǎn)業(yè)周期性回調(diào)以及地緣政治沖擊，半導(dǎo)體設(shè)備賽道仍彰顯了“坡長雪厚”的特點，2022年A股半導(dǎo)體設(shè)備板塊大部分公司業(yè)績保持增長。盡管板塊整體業(yè)績增速有所下降，但龍頭公司北方華創(chuàng)預(yù)告今年一季度盈利最高同比增長200%，進(jìn)一步提振市場信心。

　　證券時報·e公司記者注意到，多家廠商表示，逆市飄紅的業(yè)績主要受益于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備占有率提升，同時通過完善產(chǎn)品種類，提升了抗產(chǎn)業(yè)周期風(fēng)險能力。有國內(nèi)頭部晶圓廠商向記者表示，今年公司產(chǎn)線已經(jīng)加大對國產(chǎn)設(shè)備、材料的驗證和導(dǎo)入力度。

　　龍頭公司業(yè)績高增長

　　國產(chǎn)光伏、半導(dǎo)體硅片設(shè)備龍頭晶盛機(jī)電最新預(yù)測，去年實現(xiàn)凈利潤29.24億元，同比增長約七成，并預(yù)計今年一季度業(yè)績進(jìn)一步增長，歸母凈利潤8億元~9億元，同比增長80.86%~103.47%。得益于加速推進(jìn)石英坩堝、金剛線等先進(jìn)材料業(yè)務(wù)的擴(kuò)產(chǎn)和品質(zhì)提升，公司業(yè)績同比大幅增長。

　　晶盛機(jī)電高管介紹，目前公司已基本實現(xiàn)8~12英寸大硅片設(shè)備的全覆蓋并批量銷售，6英寸碳化硅外延設(shè)備實現(xiàn)批量銷售且訂單量快速增長，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國際先進(jìn)水平；公司在手半導(dǎo)體設(shè)備合同訂單約34億元。

　　國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)的業(yè)績快報也給市場注入“強(qiáng)心劑”：去年公司實現(xiàn)營業(yè)收入146.88億元，同比增長約五成；歸屬于上市公司股東的凈利潤23.53億元，同比增長118.37%；今年一季度公司盈利增長提速。據(jù)預(yù)測，2022年一季度北方華創(chuàng)實現(xiàn)營業(yè)收入36億元~40億元，同比增長68.56%~87.29%；盈利5.6億元~6.2億元，同比增長171.24%~200.3%。

　　北方華創(chuàng)刻蝕機(jī)、PVD（物理氣相沉積技術(shù)）、CVD（化學(xué)氣相沉積）、氧化/擴(kuò)散爐、退火爐、清洗機(jī)等產(chǎn)品在集成電路及泛半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)應(yīng)用，構(gòu)建了半導(dǎo)體裝備多品種、跨領(lǐng)域的產(chǎn)品平臺，成為國內(nèi)先進(jìn)的半導(dǎo)體裝備供應(yīng)商。對于去年業(yè)績增長，公司表示，營業(yè)收入增長主要是得益于半導(dǎo)體設(shè)備市場占有率提高，銷售訂單增長，以及成本及費用得到有效控制，增厚利潤。

　　業(yè)績發(fā)布后，北方華創(chuàng)股價4月14日強(qiáng)勢漲停，報收314.61元/股，收復(fù)自去年8月以來回調(diào)失地，整個半導(dǎo)體設(shè)備板塊也獲提振。半導(dǎo)體板塊經(jīng)歷了2022年下挫后，復(fù)蘇預(yù)期不斷增強(qiáng)，2023年以來半導(dǎo)體設(shè)備板塊累計上漲約30%。

　　半導(dǎo)體設(shè)備也帶動設(shè)備零部件廠商業(yè)績增長。富創(chuàng)精密發(fā)布業(yè)績快報顯示，去年公司凈利潤約2.4億元，同比增長近九成。公司高管接受調(diào)研時預(yù)計，隨著設(shè)備國產(chǎn)化率提升，公司現(xiàn)有首件產(chǎn)品的量產(chǎn)、公司產(chǎn)品向模組化方向發(fā)展以及向海外拓展，公司營收將會進(jìn)一步增長。

　　除了半導(dǎo)體設(shè)備，半導(dǎo)體材料端業(yè)績也保持增長。A股電子特氣龍頭華特氣體預(yù)計，受益于國內(nèi)半導(dǎo)體市場需求持續(xù)穩(wěn)定增長，客戶放量、稀有氣體銷量增長及新產(chǎn)品批量供應(yīng)和原客戶擴(kuò)充品類，去年公司歸母凈利潤2億元，同比增長54.75%。

　　另外，金宏氣體來自半導(dǎo)體收入也顯著增長，去年已經(jīng)成為公司營收貢獻(xiàn)最大的板塊，同比增三成至3.81億元，毛利率增至約44%。據(jù)介紹，電子特種氣體作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵材料，金宏氣體已經(jīng)逐步實現(xiàn)了超純氨、高純氧化亞氮、電子級正硅酸乙酯、高純二氧化碳等一系列產(chǎn)品的進(jìn)口替代。公司自主研發(fā)的超純氨、高純氧化亞氮等產(chǎn)品已供應(yīng)中芯國際、海力士、聯(lián)芯集成、積塔等一批知名半導(dǎo)體客戶。

　　前道設(shè)備業(yè)績增長強(qiáng)勁

　　目前約八成A股半導(dǎo)體設(shè)備上市公司已經(jīng)披露年報或者業(yè)績快報，絕大多數(shù)公司去年實現(xiàn)業(yè)績增長；不過，受景氣度波動影響，板塊整體盈利增速有所下降。

　　據(jù)Choice金融終端不完全統(tǒng)計，2020年、2021年和2022年（已披露年報和業(yè)績快報上市公司），板塊上市公司盈利增長中位數(shù)分別是95%、100%和55%，2021年成為盈利增速高峰，去年板塊盈利增速或?qū)⒒芈洹?/p>

　　進(jìn)一步來看，設(shè)備板塊增速分化比較顯著，專注半導(dǎo)體制造前道以及產(chǎn)品線更齊全類公司業(yè)績增長相對更強(qiáng)勁。

　　清洗設(shè)備頭部公司盛美上海業(yè)績實現(xiàn)大跨越，公司凈利潤增速從2021年的35%提升至2022年的151%。除清洗設(shè)備外，盛美上海積極擴(kuò)大產(chǎn)品組合，在半導(dǎo)體電鍍設(shè)備、半導(dǎo)體拋銅設(shè)備、先進(jìn)封裝濕法設(shè)備、立式爐管設(shè)備等領(lǐng)域擴(kuò)大布局；去年公司推出多款新設(shè)備新工藝產(chǎn)品，包括前道涂膠顯影Track設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD設(shè)備等。

　　國內(nèi)半導(dǎo)體涂膠顯影設(shè)備的龍頭企業(yè)芯源微業(yè)績也逆勢提速：2021年公司凈利潤增速為58%，2022年業(yè)績快報顯示，公司凈利潤接近2億元，同比增長155%。

　　去年芯源微新簽訂單規(guī)模同比大幅增長，并采取多種措施保供保產(chǎn)，確保了疫情期間正常的生產(chǎn)經(jīng)營活動，實現(xiàn)客戶端訂單的有序交付及順利驗收，收入規(guī)模持續(xù)增長。另外，公司集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域產(chǎn)品收入實現(xiàn)快速放量，同時保持小尺寸及集成電路后道先進(jìn)封裝領(lǐng)域產(chǎn)品收入穩(wěn)步增長，公司利潤持續(xù)增長。

　　芯源微高管介紹，公司將持續(xù)鞏固在前道物理清洗、后道先進(jìn)封裝及化合物等小尺寸領(lǐng)域的優(yōu)勢競爭地位，目前公司簽單態(tài)勢良好,客戶需求旺盛。

　　另外，作為國產(chǎn)刻蝕設(shè)備龍頭，中微公司除布局薄膜設(shè)備外，還投資了光學(xué)檢測設(shè)備市場。2022年公司扣非凈利潤約9億元，同比增長1.83倍；去年新簽訂單金額約63.2億元，同比增長約五成。

　　相對而言，偏重半導(dǎo)體后道的測試設(shè)備類公司業(yè)績承壓。

　　國產(chǎn)測試機(jī)龍頭華峰測控凈利潤增速從2021年1.2倍增長降至2022年約兩成。在業(yè)績快報中，公司表示持續(xù)受到疫情的影響，疊加半導(dǎo)體市場景氣度的不斷低迷，給業(yè)績增長帶來了巨大挑戰(zhàn)。

　　華峰測控在模擬及數(shù)?；旌蠝y試設(shè)備領(lǐng)域打破了國外廠商的壟斷地位。民生證券指出，去年第四季度華峰測控的訂單已經(jīng)出現(xiàn)底部回暖跡象，大功率測試及STS8300機(jī)臺放量，有望進(jìn)一步打開增長空間。

　　加速國產(chǎn)設(shè)備導(dǎo)入

　　A股半導(dǎo)體設(shè)備廠商的業(yè)績增勢與國際趨勢相似。

　　國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）最新報告顯示，半導(dǎo)體制造設(shè)備的全球銷售額在2022年實現(xiàn)創(chuàng)紀(jì)錄的1076億美元，同比增長5%，增速回落。分產(chǎn)品類型來看，晶圓加工設(shè)備全球銷售額增長8%，而測試設(shè)備總銷售額同比下降4%。

　　考慮全球通貨膨脹導(dǎo)致消費性電子需求低迷，以及行業(yè)去庫存進(jìn)程的因素，SEMI預(yù)期，2023年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將減少16%達(dá)912億美元；預(yù)計隨著庫存修正結(jié)束，看好2024年半導(dǎo)體設(shè)備市場將出現(xiàn)明顯回溫，市場規(guī)模將達(dá)1071.6億美元，有望同比增長18%。記者也注意到，部分半導(dǎo)體零部件廠商、氣體廠商下調(diào)了2023年業(yè)績增長預(yù)期。

　　分地區(qū)來看，去年中國投資步伐有所放緩，銷售額為283億美元，但依舊連續(xù)第三年成為最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場。半導(dǎo)體周期下行，但國產(chǎn)半導(dǎo)體制造廠商非常給力，為設(shè)備廠商業(yè)績增長提供市場空間。

　　A股晶圓代工廠龍頭中芯國際將2023年全年資本支出從約320.5億元上調(diào)為456億元，用以支付長交期設(shè)備預(yù)付款；華虹半導(dǎo)體今年1月也獲國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金二期等主體增資上市公司合營公司，并投資合計67億美元用于擴(kuò)充12英寸晶圓產(chǎn)能。

　　除了受行業(yè)周期因素影響，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備環(huán)節(jié)面臨更大的地緣政治和貿(mào)易沖突壓力。繼3月初荷蘭方面計劃實施新芯片出口限制，3月31日，日本政府方面計劃將高端半導(dǎo)體制造設(shè)備等23品類納入出口管制類別。中國外交部、商務(wù)部等此前均作出回應(yīng)。

　　有國內(nèi)頭部晶圓廠商向證券時報·e公司記者透露，公司產(chǎn)線已經(jīng)加大對國產(chǎn)設(shè)備、材料的驗證和導(dǎo)入力度，作為今年重點任務(wù)來推進(jìn)。

　　士蘭微董事長陳向東在近期接受證券時報·e公司專訪時也指出，士蘭微的芯片制造產(chǎn)線對國產(chǎn)設(shè)備、零部件、材料等供應(yīng)商均持積極開放的態(tài)度，公司產(chǎn)線已經(jīng)引入了很多國產(chǎn)“首臺套”設(shè)備。

　　“過去國產(chǎn)半導(dǎo)體發(fā)展慢，主要原因就是沒有大廠客戶帶動；現(xiàn)在國際形勢變化，大廠客戶愿意采用，并且形成良性互動。”陳向東指出，國產(chǎn)自主可控進(jìn)程是個“持久戰(zhàn)”，需要產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)充分參與和互動，才能讓國產(chǎn)半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)鏈逐步發(fā)展成熟。

　　招商證券指出，近年來國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商營收增速較快，但整體國產(chǎn)化率仍然較低，前端測試、涂膠顯影等設(shè)備國產(chǎn)化率預(yù)計均不足10%，刻蝕、熱處理、清洗等設(shè)備國產(chǎn)化率預(yù)計超過20%，仍有較大提升空間，建議關(guān)注市場空間較大、受管制影響較大、國產(chǎn)化率較低的設(shè)備，以及受益于整體國產(chǎn)化進(jìn)程加速的其他設(shè)備和零部件標(biāo)的。